氣是僅次于電力的第二大動力能源，其應用范圍普及各個行業。三坐標丈量機的正常運轉離不開氣浮軸承，因而需求緊縮空氣。緊縮空氣的質量直接影響三坐標測量儀的正常工作及運用壽命，不理想的是氣源中含有相當數量的雜質。
主要分為三類，即水，油和塵；,其中大約80%在尺寸上小于2μm,空壓機吸氣過濾器無力消弭。此外，空壓機系統內部也會不時產生磨屑、銹渣和油的碳化物，它們將加速用氣設備的磨損，招致密封失效或梗塞。
水份大氣中相對濕度普通高達65%以上，經緊縮冷凝后，即成為濕飽和空氣，并夾帶大量的液態水滴，它們是管道和閥門、三坐標測量儀等設備銹蝕的基本緣由，冬天結冰還會阻塞氣動系統中的小孔通道。值得留意的是：即便是別離潔凈的純飽和空氣，隨著溫度的降低，仍會有冷凝水析出，大約每降低10℃，其飽和含水量將降落50%,即有一半的水蒸氣轉化為液態水滴。
油份緊縮機類型分為活塞式，螺桿式；大局部空壓機是采用光滑油來光滑和冷卻其運動部件（如螺桿、活塞等）的，但污染了緊縮空氣。在空壓機內光滑油與高溫的緊縮空氣直接接觸，緊縮空氣中的油污以"油滴"、"油霧（氣溶膠）"和"油蒸氣"三種方式存在。被從壓機內帶到供氣系統中的油在任何狀況下都沒有益處。
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